X射線光電子(zi)能(neng)譜(pu)儀的(de)發(fa)展簡史及(ji)基本原(yuan)理(li)

 1887年(nian)，海(hai)因裏(li)希(xi)·魯(lu)道夫(fu)·赫茲(zi)發(fa)現(xian)了光電效(xiao)應(ying)，1905年(nian)，愛因斯坦(tan)解釋(shi)了該現(xian)象(xiang)（並為此(ci)獲得(de)了1921年(nian)的(de)諾貝(bei)爾物理學(xue)獎(jiang)）。兩(liang)年(nian)後的(de)1907年(nian)，P.D. Innes用(yong)倫(lun)琴(qin)管(guan)、亥姆霍(huo)茲線圈、磁(ci)場(chang)半球(qiu)（電子(zi)能(neng)量(liang)分(fen)析(xi)儀(yi)）和(he)照(zhao)像(xiang)平(ping)版(ban)做(zuo)實(shi)驗來記(ji)錄(lu)寬(kuan)帶(dai)發(fa)射(she)電子(zi)和速(su)度(du)的(de)函數(shu)關(guan)系(xi)，他(ta)的(de)實(shi)驗事實(shi)上記(ji)錄(lu)了人類(lei)*條(tiao)X射(she)線光電子(zi)能(neng)譜(pu)。其(qi)他(ta)研(yan)究(jiu)者如(ru)亨(heng)利·莫塞萊、羅(luo)林(lin)遜(xun)和羅(luo)賓(bin)遜(xun)等(deng)人則分(fen)別(bie)獨立進(jin)行(xing)了多(duo)項實(shi)驗，試圖研究(jiu)這些(xie)寬(kuan)帶(dai)所(suo)包(bao)含(han)的(de)細節(jie)內(nei)容。XPS的(de)研究(jiu)由(you)於(yu)戰爭(zheng)而(er)中止(zhi)，第二(er)次(ci)世(shi)界(jie)大(da)戰後瑞(rui)典(dian)物(wu)理學家凱·西格(ge)巴(ba)恩和他(ta)在(zai)烏普薩(sa)拉的(de)研究(jiu)小組在(zai)研發(fa)XPS設(she)備(bei)中獲得(de)了多(duo)項重(zhong)大(da)進(jin)展，並於(yu)1954年(nian)獲得(de)了氯(lv)化鈉(na)的(de)首條(tiao)高(gao)能(neng)高分辨X射(she)線光電子(zi)能(neng)譜(pu)，顯示了XPS技術的(de)強大(da)潛力(li)。1967年(nian)之後(hou)的(de)幾年(nian)間，西格(ge)巴(ba)恩就XPS技(ji)術發(fa)表(biao)了壹系(xi)列學(xue)術成果，使XPS的(de)應(ying)用(yong)被(bei)世(shi)人所*。在(zai)與西格(ge)巴(ba)恩的(de)合作下(xia)，美國(guo)惠(hui)普公(gong)司(si)於1969年(nian)制(zhi)造(zao)了世(shi)界(jie)上*商(shang)業(ye)單(dan)色X射(she)線光電子(zi)能(neng)譜(pu)儀。1981年(nian)西格(ge)巴(ba)恩獲得(de)諾(nuo)貝(bei)爾物理學(xue)獎(jiang)，以(yi)表彰他(ta)將(jiang)XPS發(fa)展為壹(yi)個(ge)重要分析技(ji)術所作出的(de)傑出貢(gong)獻(xian)。